這章節(jié)開(kāi)始將記述防靜電對(duì)策的個(gè)別內(nèi)容。
另外，下表為半導(dǎo)體取拿工程中靜電對(duì)策的實(shí)施內(nèi)容及必要項(xiàng)目。所以在實(shí)施時(shí)要與各事業(yè)部的靜電對(duì)策擔(dān)當(dāng)者進(jìn)行商談檢討。再說(shuō)，這里的所謂重點(diǎn)管理工程是指對(duì)工程上有帶電電位在５０Ｖ以下的設(shè)計(jì)必要的場(chǎng)所進(jìn)行估計(jì)并區(qū)分。◎必須實(shí)施○實(shí)施△根據(jù)需要實(shí)施
工廠環(huán)境
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靜電對(duì)策用接地線的設(shè)置（NO．①-1）
目的:為了將已產(chǎn)生的靜電導(dǎo)入接地
實(shí)施順序
1)對(duì)直徑為1.6mm 以上的導(dǎo)線，與設(shè)備用接地線分開(kāi)單獨(dú)鋪設(shè)靜電對(duì)策用接地線。
2）靜電對(duì)策用接地線進(jìn)行專門接地時(shí)，跟設(shè)備接地一樣通過(guò)接地點(diǎn)接地。
要點(diǎn)
1）對(duì)于靜電對(duì)策用接地線，如果有外傷保護(hù)和耐蝕性要求的話，使用絕緣皮導(dǎo)線。由于很難發(fā)現(xiàn)導(dǎo)線內(nèi)部導(dǎo)線斷裂，所以1年至少進(jìn)行一次導(dǎo)通測(cè)試。
2）為了防止人體在設(shè)備漏電時(shí)觸電并進(jìn)行防靜電對(duì)策，各接地點(diǎn)接地間 的阻值應(yīng)按以下值設(shè)定。
※接地間阻值：7.5*10^5-1.0*10^9Ω(IEC 61340)
3）工廠外的接地以D接地工事為基本，在連接超過(guò)３００Ｖ低電壓電路時(shí)，進(jìn)行C 種接地工事，（舊特別第3種：接地電阻１０Ω以下）※
另外，對(duì)于接地電阻1年至少應(yīng)確認(rèn)一次。
4)由于鋪設(shè)靜電對(duì)策用接地線有一定的困難，如果不得已要利用設(shè)備接地線的話，靜電手環(huán)和接地線阻值應(yīng)保持在適當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi)以確保人身安全。
2.運(yùn)用加濕器控制工程內(nèi)的溫度(NO．①-2)
目的：為了避免因濕度上升絕緣體表面阻率下降造成靜電的產(chǎn)生。
實(shí)施順序
1)根據(jù)外面空氣的流入風(fēng)量及室內(nèi)室外的絕對(duì)濕度，計(jì)算必要的加濕量(kg/h)。
2）充分考慮蒸氣品質(zhì)、設(shè)備能力、維修保養(yǎng)性等各方面因素，導(dǎo)入加濕器。
3）設(shè)置后在多個(gè)場(chǎng)所設(shè)置濕度監(jiān)控器進(jìn)行濕度管理。
要點(diǎn)
1)如果濕度在65%以上將會(huì)有明顯的影響，可能增加作業(yè)者的不快感。比如說(shuō)，濕度為６０％溫度為２２℃時(shí)，不會(huì)感覺(jué)到不快，但到了２８℃ 就會(huì)感到不快。關(guān)注與溫度的關(guān)系，濕度保持在５０～６０％較好。
2)加濕時(shí)，注意金屬與壁上的結(jié)露。另外，若將ＩＣ長(zhǎng)時(shí)間置于高濕度的 環(huán)境中，有可能發(fā)生膨脹變形所以要特別留意。
3)還有，滴下浸透方式由于各不相同，各有各的特點(diǎn)。
作業(yè)環(huán)境——作業(yè)床對(duì)策（NO．②-1）
實(shí)施項(xiàng)目：防止作業(yè)床帶電
目的：為了防止因作業(yè)帶電
實(shí)施順序
1)鋪設(shè)表面阻率為１０^４～１０^９Ω／□的導(dǎo)電墊并連接接地接點(diǎn)。
2）另外再鋪上不銹鋼鋼板，增加１ＭΩ的電阻連接。
要點(diǎn)＜導(dǎo)電墊＞（靜電皮）
1)２層構(gòu)造的導(dǎo)電墊(綠)，應(yīng)從內(nèi)側(cè)的黑面接地。
2)阻值高的雖較便宜，但存在衰減時(shí)間變長(zhǎng)的缺點(diǎn)。
同樣，單層構(gòu)造的導(dǎo)電墊（黑）也較便宜，但隨著面積的增大阻值也 相應(yīng)變高，所以選定時(shí)應(yīng)多加留意。
3)一旦導(dǎo)電墊表面變臟，表面阻率也變大，同時(shí)衰減時(shí)間變長(zhǎng)，應(yīng)使用 加入了界面活性劑的中性洗滌劑進(jìn)行擦拭。
4)為了確認(rèn)效果，要求根據(jù)「⑧－２接地間(泄露)阻值的測(cè)定方法」定期 檢查接地間(泄露)阻值。
※規(guī)格：７.５*１０^５～１.０*１０^９Ω (IEC 61340)
5)導(dǎo)電墊的接地點(diǎn)應(yīng)用螺絲等進(jìn)行機(jī)械固定。 ＜不銹鋼鋼板＞
1)不要忘記在接地線接續(xù)點(diǎn)之間放入１ＭΩ的電阻。
實(shí)施項(xiàng)目：搬運(yùn)路徑的接地處理（NO．②-3）
目的：為了防止運(yùn)輸基板時(shí)產(chǎn)生靜電。
實(shí)施順序
1)為確保搬運(yùn)路徑的暢通，在其范圍內(nèi)鋪設(shè)不銹鋼鋼板?；蚴窃诜秶鷥?nèi)每隔1米鋪設(shè)10厘米的不銹鋼鋼板。
2）另外在通道上再鋪上導(dǎo)電墊。
要點(diǎn)
1）不銹鋼鋼板之間用接地線連接，使用包含１ＭΩ電阻的防靜電用接地線。
2）對(duì)搬運(yùn)用的臺(tái)車應(yīng)進(jìn)行防靜電對(duì)策。
作業(yè)臺(tái)對(duì)策（NO．②-2）
實(shí)施項(xiàng)目：作業(yè)臺(tái)前鋪導(dǎo)電墊并接地
目的：為了將作業(yè)臺(tái)上產(chǎn)生的靜電適度地安全導(dǎo)入地下。
實(shí)施順序
1)鋪設(shè)表面阻率為１０^４～１０^９Ω／□的導(dǎo)電墊，并連接接地點(diǎn)。
2)導(dǎo)電墊接地點(diǎn)接續(xù)時(shí)，鉚釘?shù)茸⒁獠灰馔弧?nbsp;
要點(diǎn)
1)橡膠墊為絕緣體，可以絕對(duì)地避免高電位的帶電。
2)作業(yè)臺(tái)表面鋪設(shè)金屬板可以避免部品帶電時(shí)突然放電造成損傷。
3)導(dǎo)電墊的表面變臟阻率就變高，也容易帶上電，所以應(yīng)使用加入了界面 活性劑的中性洗劑進(jìn)行擦拭。
4)作為效果確認(rèn)，根據(jù)「⑧－２接地間(泄漏)阻值的測(cè)定方法」，定期檢查確認(rèn) 接地間(泄漏)阻值。
※規(guī)格：７.５*１０^５～１.０*１０^９Ω (IEC 61340)
作業(yè)椅對(duì)策（NO．②-3）
實(shí)施項(xiàng)目：作業(yè)椅防靜電對(duì)策
目的：為了將椅子與作業(yè)服摩擦接觸產(chǎn)生的靜電導(dǎo)入地下。
實(shí)施順序
1)使用防靜電作業(yè)椅，如果輪子不能直接接地的話，就直接通過(guò)鏈子接地面的接地線。
2）對(duì)于沒(méi)有進(jìn)行靜電對(duì)策的作業(yè)椅，應(yīng)套上防靜電的背套和座套并 與鏈子相連，鏈子的一端與地面相接。
3）地面應(yīng)鋪上導(dǎo)電墊或不銹鋼鋼板進(jìn)行靜電對(duì)策。
要點(diǎn)
1)由于鏈子會(huì)因表面腐蝕出現(xiàn)導(dǎo)通不安定，所以一個(gè)月應(yīng)檢查一次。
2）鏈子有可能浮起，所以作業(yè)前應(yīng)進(jìn)行檢查。
導(dǎo)電墊或不銹鋼鋼需加入１ＭΩ的電阻接接地線鏈
〈參考：接地間阻值的確認(rèn)〉
效果確認(rèn)
1）導(dǎo)電輪和鏈子等接地的部分應(yīng)接觸金屬板。
2）座墊和金屬板上都應(yīng)連接測(cè)定電極。
3）絕緣電阻針輸出功率100V，30秒后才能
讀取數(shù)值。
4)規(guī)格：７.５*１０^５～１.０*１０^９Ω以(上限值IEC 61340)進(jìn)行判定。
※測(cè)定機(jī)器參照「⑧－２接地間電阻的測(cè)定方法」。
臺(tái)車（周轉(zhuǎn)車）對(duì)策（NO．②-4）
實(shí)施項(xiàng)目：運(yùn)載半導(dǎo)體的臺(tái)車應(yīng)進(jìn)行防靜電對(duì)策
目的：為了防止臺(tái)車移動(dòng)中帶電。
實(shí)施順序
1)搭載面的表面應(yīng)鋪設(shè)表面阻率為１０^４～１０^９Ω／□的導(dǎo)電墊。
2)導(dǎo)電墊先與鏈子相連，再將鏈子的一端連接地面。
3)地面一定要鋪設(shè)導(dǎo)電墊和不銹鋼鋼板進(jìn)行對(duì)策。
要點(diǎn)
1)由于與金屬板重疊容易導(dǎo)致導(dǎo)通的不穩(wěn)定，所以導(dǎo)電墊的接續(xù)應(yīng)用螺絲等進(jìn)行機(jī)械性固定。
2)臺(tái)車的鏈子不能生銹。
3)車輪如果具靜電擴(kuò)散性的話，從各段的導(dǎo)電墊到車輪需要接地，同時(shí)可以取消鏈子。
電子廠防靜電措施實(shí)踐篇（四）車間的個(gè)別靜電對(duì)策之一到此為止，想了解更多知識(shí)的請(qǐng)關(guān)注我們的公眾號(hào)：dgbabu
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